序號

原商品服務名稱

1.

大氣電漿清潔用機械

2.

大氣等離子清潔用機械

3.

大氣電漿表面清潔用機械    

4.

處理半導體材料之表面改質機  

6.

半導體材料之表面噴塗前清潔與去靜電處理用機械  

9.

半導體晶圓/玻璃去光阻機