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大氣電漿技術差異比較 BenchMark4
https://www.sap-plasma.com/ 雪曼電漿科技有限公司
雪曼電漿科技有限公司 241新北市三重區重新路5段609巷4號9f
工業級高流量電漿水平台 以電力取代化學品,重新定義工業用水標準 利用電漿技術活化水分子,產生高氧化性、超純淨且環境友善的功能水,用於提升製程效率、降低化學品使用量,並減少環境衝擊。 電漿水特性 高氧化還原電位(ORP > 900 mV)(可產生 ·OH、O₃、H₂O₂、NOx 等) 強效殺菌與分解能力(抗生素、PFAS 等污染物) 無二次污染,可分解回水與氧氣 常壓操作,高整合性,維護簡單 1. 晶圓清洗(UPW) 電漿水可有效去除晶圓表面的有機物、微粒、金屬離子及天然氧化層,提高良率與產品可靠度。 優勢: 高氧化能力:去除有機物、顆粒與金屬離子 提升良率與品質:降低缺陷、提高穩定性 高設備相容性:可整合現有清洗系統 環保安全:無有害化學品 製程流程:電漿水生成 → 晶圓清洗 → DI 水沖洗 → 乾燥 2. 廢水處理(PFAS / 抗生素) 電漿水可有效分解廢水中的有機污染物、氨、抗生素、PFAS 與重金屬,降低 COD 與毒性,符合排放標準。 處理流程:廢水進水 → 電漿氧化反應 → 處理後出水 功能: 分解有機污染物(降低 COD/BOD) 去除氨(降低氨氮濃度) 去除氟(降低氟濃度) 去除重金屬(降低金屬離子) 減少污染(更環保) 適用廢水類型: 製程廢水(沖洗、蝕刻、CMP) CMP 研磨液廢水 高氨廢水 重金屬廢水 其他工業廢水 符合環保法規,支持綠色製造與永續發展 3. 冷卻水 / HVAC 系統 電漿水可抑制細菌、生物膜與水垢形成,同時分解抗生素與有機污染物,確保系統效率與水質安全。 功能: 殺菌與生物膜控制(去除細菌與黏泥) 分解抗生素與有機物(降低有害物質) 維持水質(減少結垢與腐蝕) 節能環保(提升熱交換效率、降低能耗) 應用場域: 冷卻水塔 冰水機系統 空調箱(AHU) HVAC 循環水系統 製程冷卻系統 核心優勢(Key Benefits) 全球唯一高流量電漿水系統(穩定供應) 可無縫整合現有系統(低改造成本) 化學藥劑使用降低 30–70% 投資回收期 < 2 年(提升效率與良率) 技術定位(市場區隔) 非競爭關係,而是製程升級的關鍵輔助技術雪曼電漿並非直接售賣動輒數億的製程整合機台,而是透過「技術嵌入」與「專案開發」切入一線大廠供應鏈,SAP Plasma Insight。 核心理念 將「水」轉化為製程工具,而非成本負擔⚡ 用電力取代化學品,重新定義工業用水標準 https://www.sap-plasma.com/hot_533586.html 電漿水在半導體的應用 SAP PAW for IC / Industry 2026-05-05 2027-05-05
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大氣電漿技術差異比較

SAP-Plasma 雪曼大氣電漿

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>>差異比較

在大氣環境下,分子密度過高,要能持續加速電子維持解離分子的狀態不容易。最簡單的方式就是: 縮短電極距離(電暈/電焊之陰陽極距離<5mm),或者加大功率,用蠻力來斷鍵。因此,操作電流>4~5 Amp,電漿溫度高,電極損耗快,電磁波干擾範圍大,臭氧濃度高。

雪曼電漿藉由高電壓加速電子與改變頻率的激發機制,解離空氣中不同比例的N2/O2,佈植指定的極性官能基團(polar-functional group,例如: -OH, -CH, -NH, -COOH ...)。不用蠻力斷鍵,而是找到分子間的震動頻率,藉由共振效應來斷鍵,選擇性地製造各種化學自由基(radical)。太極拳不就是借力使力的智取嗎? (>>Ref.)

雪曼電漿操作電流不超過1 Amp,電壓不低於6k Volt;不是火花放電,沒有公安疑慮溫度低於80CEMI/EMC影響小於手機,外號冷電漿


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雪曼電漿操作電流不超過1Amp,電壓不低於6k Volt不是火花放電,沒有公安疑慮SAP PLASMA溫度低於80C,更不是電漿銲接。

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