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大氣電漿Q&A 雪曼電漿科技4
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雪曼電漿科技有限公司 241新北市三重區重新路5段609巷4號9f
工業級高流量電漿水平台 以電力取代化學品,重新定義工業用水標準 利用電漿技術活化水分子,產生高氧化性、超純淨且環境友善的功能水,用於提升製程效率、降低化學品使用量,並減少環境衝擊。 電漿水特性 高氧化還原電位(ORP > 900 mV)(可產生 ·OH、O₃、H₂O₂、NOx 等) 強效殺菌與分解能力(抗生素、PFAS 等污染物) 無二次污染,可分解回水與氧氣 常壓操作,高整合性,維護簡單 1. 晶圓清洗(UPW) 電漿水可有效去除晶圓表面的有機物、微粒、金屬離子及天然氧化層,提高良率與產品可靠度。 優勢: 高氧化能力:去除有機物、顆粒與金屬離子 提升良率與品質:降低缺陷、提高穩定性 高設備相容性:可整合現有清洗系統 環保安全:無有害化學品 製程流程:電漿水生成 → 晶圓清洗 → DI 水沖洗 → 乾燥 2. 廢水處理(PFAS / 抗生素) 電漿水可有效分解廢水中的有機污染物、氨、抗生素、PFAS 與重金屬,降低 COD 與毒性,符合排放標準。 處理流程:廢水進水 → 電漿氧化反應 → 處理後出水 功能: 分解有機污染物(降低 COD/BOD) 去除氨(降低氨氮濃度) 去除氟(降低氟濃度) 去除重金屬(降低金屬離子) 減少污染(更環保) 適用廢水類型: 製程廢水(沖洗、蝕刻、CMP) CMP 研磨液廢水 高氨廢水 重金屬廢水 其他工業廢水 符合環保法規,支持綠色製造與永續發展 3. 冷卻水 / HVAC 系統 電漿水可抑制細菌、生物膜與水垢形成,同時分解抗生素與有機污染物,確保系統效率與水質安全。 功能: 殺菌與生物膜控制(去除細菌與黏泥) 分解抗生素與有機物(降低有害物質) 維持水質(減少結垢與腐蝕) 節能環保(提升熱交換效率、降低能耗) 應用場域: 冷卻水塔 冰水機系統 空調箱(AHU) HVAC 循環水系統 製程冷卻系統 核心優勢(Key Benefits) 全球唯一高流量電漿水系統(穩定供應) 可無縫整合現有系統(低改造成本) 化學藥劑使用降低 30–70% 投資回收期 < 2 年(提升效率與良率) 技術定位(市場區隔) 非競爭關係,而是製程升級的關鍵輔助技術雪曼電漿並非直接售賣動輒數億的製程整合機台,而是透過「技術嵌入」與「專案開發」切入一線大廠供應鏈,SAP Plasma Insight。 核心理念 將「水」轉化為製程工具,而非成本負擔⚡ 用電力取代化學品,重新定義工業用水標準 https://www.sap-plasma.com/hot_533586.html 電漿水在半導體的應用 SAP PAW for IC / Industry 2026-05-05 2027-05-05
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大氣電漿Q/A 雪曼電漿科技

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1. 大氣下如何產生電漿?

Q: 電漿乃物質的第四態,宇宙萬物中有99%乃電漿態。電漿的形成,乃藉由電子的撞擊將分子斷鍵,形成離子團。然而受限於電子撞擊的平均自由路徑(MFP)太短所影響,一般在真空環境下始能產生穩定的電漿。在大氣環境下,分子密度過高,要能持續加速電子維持解離分子的狀態不容易。最簡單的方式就是: 縮短電極距離(電暈/電焊之陰陽極距離<5mm),或者加大功率,用蠻力來斷鍵。因此,操作電流>4~5 Amp,電漿溫度高,電極損耗快,電磁波干擾範圍大,臭氧濃度高。

雪曼大氣電漿藉由高電壓加速電子與改變頻率的激發機制,解離空氣中不同比例的N2/O2,佈植指定的極性官能基團(polar-functional group,例如: -OH, -CH, -NH, -COOH ...)。不用蠻力斷鍵,而是找到分子間的震動頻率,藉由共振效應來斷鍵,選擇性地製造各種化學自由基(radical)。太極拳不就是借力使力的智取嗎? (>>Ref.)

雪曼電漿操作電流不超過1 Amp,電壓不低於6k Volt;不是火花放電,沒有公安疑慮溫度低於80CEMI影響小於手機,低溫大氣電漿外號冷電漿



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2. 大氣電漿處理會改變材料品質特性嗎?

Q: 大氣電漿技術乃一種表面改質活化的處理製程,電漿與材料表面1~2個原子層厚度產生化學反應,並不會改變材料本身所具有之化性與物性等。雪曼電漿所研發之零電位差之大氣電漿,更不會造成電子或離子轟擊,擊穿金屬線路,造成表面的物理變化。該技術已應用於日韓廠之大尺寸面板之PR Stripping以及PCB量產設備。

3. 大氣電漿在表面上的活化作用能持續多長時間?

Q: 大氣電漿團的成分與濃度對各種材料所產生的效果差異很大。一般而言,剛完成大氣電漿處理的工件表面具有最大表面極性官能基群,隨後表面能會逐漸衰減。在潔淨的儲存環境下,表面能可維持在穩定的水準一段時間,進而隨著時間而弱化。因此,建議在處理後儘快執行後續工藝,如噴塗、上膠或上色等生產步驟。雪曼電漿的變頻技術,佈植豐富的指定官能基團,至少可維持3小時(橡膠、活潑金屬類),甚至一周(非金屬材質)以上。

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4. 大氣電漿操作需要特殊氣體嗎?

Q: 雪曼大氣電漿技術,僅需要壓縮空氣(5 kg/cm2)以及 220V電力,即可穩定維持電漿激發,處理絕大部分的金屬與非金屬材質。如有特殊需求的材質表面處理,也可引用N2、O2、-F或Ar等氣體。

5. 大氣電漿過程是否會散發毒性物質?

Q: 大氣電漿對一些材料進行前處理,可能會產生氮氧化物和臭氧,但濃度也僅止於數個ppb。
請參考以下UCLA教授文獻: 依據文獻指出,
雪曼大氣電漿產生之氧離子濃度1012/cm3,大於一般的電暈與線型DBD電漿1010 /cm3
產生臭氧之濃度<1016/cm3,也遠低於其他的電漿100倍。

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6. 大氣電漿火焰熱不熱?

Q: 大氣電漿所產生之黃色光炫乃電子能階跳躍所散發之可見光,並不是火焰(>>Ref.),改變電漿槍頭之間距與移動速度,即可降低熱量累積。在大多數應用場合,表面溫度<60C@10mm間距,堪稱冷電漿技術。冷電漿已應用於PET薄膜、人體的牙齒美白,以及美容美甲產業,甚至玻纖碳纖等會翹纖材料應用。

7. 大氣電漿運行成本和消耗品有哪些?

Q: 大氣電漿運行成本只有電能和壓縮空氣,合計成本<1kW/hr。雪曼大氣電漿耗品零件包括: 電極、噴嘴、時規皮帶,使用壽命>6k小時,遠比一般號稱大氣電漿之耗材使用壽命只有500小時優越,更比傳統之酸鹼洗濕式工藝與真空電漿設備之運轉與維護成本低。可見大氣電漿工藝在在顯現出其先進智造之優勢,更遑論環保綠色製程所帶來的公司形象與周邊效益。(>>Ref. BenchMark)

8. 大氣電漿是否能夠通過取代原來的溶劑或底塗(primer)的清洗方法?

Q: 無數產業用戶,尤其是鞋廠/EVA材質的實績已經證明,採用大氣電漿技術便能輕易取代傳統的溶劑清洗工藝;甚至減少對有機溶劑與添加劑的依賴,避免採用對環境有害的諸如甲苯或丙酮溶劑等。更何況雪曼大氣電漿不只有清潔功效,同時具備化學改質之能力,產生化學鍵結,取代溶劑底塗,而非只有凡德瓦力的吸附。(>>Ref.)

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9. 大氣電漿導入量產速度?

Q: 大氣電漿處理速率取決於材料的種類、工件表面潔淨度,以及處理區域的面積大小。依據實績證明,處理PET材質可達到90 米/min@Φ50mm噴嘴;處理EPDM/ TPE,其線速度大約是24米/min @Φ20mm噴嘴。當然噴射式電漿也有它的限制,例如大寬幅材料R2R等,我們都建議客人搜尋線型電漿設備,如線型電暈、DBD等。

10. 大氣電漿工藝如何提升製程良率與符合環保指標?

Q. 傳統印刷、上漆或黏著製程,為了提升良率,僅只於框框內思考,不外乎添加固化劑、添加劑、溶劑、silane等比重,從未思考GAME CHANGE工藝。

雪曼大氣電漿技術,乃藉由表面改質與活化,建立化學鍵結,取代傳統底漆(primer)的使用;大幅降低對環境的污染,並提升品質直通率,符合碳足跡工藝趨勢,更為企業增添綠色環保形象。

11. 大氣電漿能否併入自動化產線,甚至處理複雜或三維立體幾何外形?

Q: 電漿團比氣體/液體分子更小更具穿透力與活性,能夠快速深入凹槽、角落和狹小區域。大氣電漿槍頭好比噴漆槍頭,除了可運用XY table處理平面工件,更可透過習知的噴塗自動化與機械手臂工藝,處理各種3D工件。(>>Ref.)
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12. 大氣電漿可應用於鍍膜?

Q: 大氣電漿並不是熱平衡電漿(non-thermal plasma),要直接藉由大氣電漿鍍膜成核(附著力),恐怕速度太慢沒有經濟效益。雪曼電漿建議兩種大氣電漿鍍膜工藝,
1. 大氣電漿表面改質建立化學鍵結後,以噴塗(spray)方式鍍膜(>>Ref.)
2. 大氣電漿解離前體(precursor鍍膜,輔以雷射puls高熱量傳輸達到結晶效果(>>Ref.)
    非常適用於Tg低之材質

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雪曼大气电浆Q/A简体版

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