工業級高流量電漿水平台

以電力取代化學品，重新定義工業用水標準

利用電漿技術活化水分子，產生高氧化性、超純淨且環境友善的功能水，用於提升製程效率、降低化學品使用量，並減少環境衝擊。

電漿水特性

• 高氧化還原電位（ORP > 900 mV）（可產生 ·OH、O₃、H₂O₂、NOx 等）
• 強效殺菌與分解能力（抗生素、PFAS 等污染物）
• 無二次污染，可分解回水與氧氣
• 常壓操作，高整合性，維護簡單

1. 晶圓清洗（UPW）

電漿水可有效去除晶圓表面的有機物、微粒、金屬離子及天然氧化層，提高良率與產品可靠度。

優勢：

• 高氧化能力：去除有機物、顆粒與金屬離子
• 提升良率與品質：降低缺陷、提高穩定性
• 高設備相容性：可整合現有清洗系統
• 環保安全：無有害化學品

製程流程：
電漿水生成 → 晶圓清洗 → DI 水沖洗 → 乾燥

2. 廢水處理（PFAS / 抗生素）

電漿水可有效分解廢水中的有機污染物、氨、抗生素、PFAS 與重金屬，降低 COD 與毒性，符合排放標準。

處理流程：
廢水進水 → 電漿氧化反應 → 處理後出水

功能：

• 分解有機污染物（降低 COD/BOD）
• 去除氨（降低氨氮濃度）
• 去除氟（降低氟濃度）
• 去除重金屬（降低金屬離子）
• 減少污染（更環保）

適用廢水類型：

• 製程廢水（沖洗、蝕刻、CMP）
• CMP 研磨液廢水
• 高氨廢水
• 重金屬廢水
• 其他工業廢水

符合環保法規，支持綠色製造與永續發展

3. 冷卻水 / HVAC 系統

電漿水可抑制細菌、生物膜與水垢形成，同時分解抗生素與有機污染物，確保系統效率與水質安全。

功能：

• 殺菌與生物膜控制（去除細菌與黏泥）
• 分解抗生素與有機物（降低有害物質）
• 維持水質（減少結垢與腐蝕）
• 節能環保（提升熱交換效率、降低能耗）

應用場域：

• 冷卻水塔
• 冰水機系統
• 空調箱（AHU）
• HVAC 循環水系統
• 製程冷卻系統

核心優勢（Key Benefits）

• 全球唯一高流量電漿水系統（穩定供應）
• 可無縫整合現有系統（低改造成本）
• 化學藥劑使用降低 30–70%
• 投資回收期 < 2 年（提升效率與良率）

技術定位（市場區隔）

非競爭關係，而是製程升級的關鍵輔助技術

雪曼電漿並非直接售賣動輒數億的製程整合機台，而是透過「技術嵌入」與「專案開發」切入一線大廠供應鏈，SAP Plasma Insight。

核心理念

將「水」轉化為製程工具，而非成本負擔
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