NewsREFERENCE常壓電漿輔助化學氣相沈積製備疏水薄膜 - 機械工業雜誌

常壓電漿輔助化學氣相沈積製備疏水薄膜 - 機械工業雜誌

雪曼大氣電漿
.使用大氣電漿化學氣相沈積法(APPCVD)在玻璃表. 面鍍製疏水薄膜